上海新陽借助定增募資研發(fā)高端光刻膠技術(shù)。

8月15日，上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司（300236，上海新陽）發(fā)布公告稱，擬向特定對(duì)象發(fā)行募集資金不超過15.00億元(含15.00億元)，投向集成電路制造用的高端光刻膠研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，以及集成電路關(guān)鍵工藝材料項(xiàng)目和補(bǔ)充公司流動(dòng)資金。

高端光刻膠是集成電路制造最為關(guān)鍵的基礎(chǔ)材料之一，但目前高端光刻膠幾乎全部依賴進(jìn)口。以 ArF 光刻膠、KrF 厚膜光刻膠為代表的高端光刻膠以及工藝的主要技術(shù)和專利目前都掌握在國外的企業(yè)與研究部門，如日本的信越化學(xué)(Shin-Etsu Chemical)、合成橡膠(JSR)、東京應(yīng)化(TOK)、住友化學(xué)，這些企業(yè)幾乎占據(jù)了國內(nèi)外高端光刻膠市場全部份額。

公告顯示：本次向特定對(duì)象發(fā)行募集資金擬將有7.3億元投資于集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，主要目標(biāo)為實(shí)現(xiàn) ArF 干法工藝使用的光刻膠和面向 3D NAND 臺(tái)階刻蝕的 KrF 厚膜光刻膠的產(chǎn)業(yè)化，力爭于 2023 年前實(shí)現(xiàn)上述產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化，打破國外壟斷，填補(bǔ)國內(nèi)空白，達(dá)到國際先進(jìn)技術(shù)水平。

上海新陽的底氣何在？

上海新陽公告顯示：公司自 2017 年以來即開始籌備研發(fā)光刻膠項(xiàng)目，持續(xù)不斷的引進(jìn)研究團(tuán)隊(duì)， 目前已為光刻膠項(xiàng)目專門配備了由多名海外頂尖專家和國內(nèi)優(yōu)秀研發(fā)人才組成的團(tuán)隊(duì)，并仍在持續(xù)引進(jìn)高端人才。已經(jīng)引進(jìn)的專家均在全球知名光刻膠廠商供職20 年以上，擁有開發(fā) KrF 以及 ArF 干法等光刻膠及相關(guān)關(guān)鍵材料的豐富經(jīng)驗(yàn)， 還擁有光刻膠樹脂及各種光引發(fā)劑的開發(fā)設(shè)計(jì)及應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，對(duì)光刻膠及原材料的研發(fā)體系也具有良好的基礎(chǔ)。

此外，公司對(duì)本次集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目高度重視，除外部引進(jìn)專家人才外，也建立了公司內(nèi)部的人才梯隊(duì)，由公司總經(jīng)理方書農(nóng)博士親自擔(dān)任項(xiàng)目負(fù)責(zé)人。

經(jīng)過長期投入，目前部分核心技術(shù)已取得突破，ArF 干法光刻膠和 KrF 厚膜 光刻膠均已形成實(shí)驗(yàn)室成果，樣品關(guān)鍵參數(shù)指標(biāo)已達(dá)到競品水平，產(chǎn)品已經(jīng)過數(shù) 千次試驗(yàn)，得到令人滿意的試驗(yàn)結(jié)果，目前實(shí)驗(yàn)室研發(fā)階段已完成，正在進(jìn)行中試及后續(xù)驗(yàn)證推進(jìn)。

公告顯示：本項(xiàng)目將由上海新陽實(shí)施，實(shí)施地點(diǎn)為上海新陽現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)。光刻膠項(xiàng)目總投資額預(yù)計(jì)9.3億元，主要用于設(shè)備購置及維護(hù)、人員支出、測試化驗(yàn)加工費(fèi)等。

上海新陽稱，若項(xiàng)目按計(jì)劃進(jìn)度進(jìn)行，預(yù)計(jì)KrF厚膜光刻膠2021年開始實(shí)現(xiàn)少量銷售，2022年可實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，預(yù)計(jì)ArF（干式）光刻膠項(xiàng)目在2022年可實(shí)現(xiàn)少量銷售，2023年開始量產(chǎn)，預(yù)計(jì)當(dāng)年各項(xiàng)產(chǎn)品銷售收入合計(jì)可達(dá)近2億元。經(jīng)公司測算，本項(xiàng)目預(yù)計(jì)內(nèi)部收益率（所得稅后）為26.14%，投資回收期（所得稅后）為7.47年，項(xiàng)目凈現(xiàn)值為7.23億元（假設(shè)必要收益率為12%）。

上海新陽稱，預(yù)計(jì)本項(xiàng)目研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化成功后，公司將掌握包括光刻膠主要原料純化工 藝、產(chǎn)品配方、生產(chǎn)工藝和應(yīng)用工藝技術(shù)在內(nèi)的、具有完整知識(shí)產(chǎn)權(quán)的ArF干法光刻膠和KrF厚膜光刻膠的規(guī)模化生產(chǎn)技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)兩大類光刻膠產(chǎn)品及配套試劑的量產(chǎn)供貨，并預(yù)計(jì)將取得20個(gè)以上發(fā)明專利。

本次募資另一個(gè)投向是集成電路關(guān)鍵工藝材料項(xiàng)目。該項(xiàng)目將由公司全資子公司合肥新陽實(shí)施，項(xiàng)目選址在合肥新站高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)潁州路以東，九頂山路以西，珠城西路以南地塊。項(xiàng)目通過新建廠房、 引進(jìn)國內(nèi)外先進(jìn)的自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備和高端技術(shù)人才，提升公司半導(dǎo)體相關(guān)超純化 學(xué)材料產(chǎn)品生產(chǎn)制造能力。通過實(shí)施本項(xiàng)目，公司將為芯片銅互聯(lián)超高純硫酸銅電鍍液系列、芯片刻蝕超純清洗液系列等產(chǎn)品合計(jì)新增年產(chǎn)能17,000噸，公司整體競爭力將進(jìn)一步增強(qiáng)。