4月25日，半導體設備公司沈陽芯源微電子設備股份有限公司（芯源微，688037）披露2023年第一季業績，期內營收2.88億元，同比增長56.89%，歸母凈利6597.74萬元，同比增長103.55%。

芯源微表示，營收增長主要系半導體設備行業景氣度持續，公司收入規模持續增長所致；而凈利潤增長主要系報告期內公司銷售收入增加及嵌入式軟件產品退稅到賬款增加所致。

芯源微主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售，產品包括光刻工序涂膠顯影設備（涂膠 /顯影機、噴膠機）和單片式濕法設備（清洗機、去膠機、濕法刻蝕機），可用于8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進封裝環節）及6英寸及以下單晶圓處理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等環節）。

由于國內半導體產業持續擴建產能，A股半導體設備公司一季度業績表現靚麗。

之前，北方華創（002371）一季度預計營收36億元-40億元，同比增長68.56%-87.29%。預計歸屬于上市公司股東的凈利潤5.6億元-6.2億元，同比增長171.24%-200.30%。

芯源微2022年全年業績也表現靚麗。2022年公司實現營業收入13.8億元，同比增長67.12%；歸屬于上市公司股東的凈利潤2.0億元，同比增長158.77%，經營性凈現金流1.93億元，同比大幅由負轉正。

芯源微披露，2022年公司全年新簽訂單約22億元，再創歷史新高，其中前道產品實現了快速放量。

4月25日，芯源微在回復投資者提問時稱，2022年第四季度，公司首臺浸沒式高產能涂膠顯影機在國內某知名客戶處完成驗證，已順利實現驗收。浸沒式機臺的推出，標志著公司前道涂膠顯影設備已完成在晶圓加工環節28nm及以上工藝節點全覆蓋，并可持續向更高工藝等級迭代。目前國內前道涂膠顯影設備市場仍然被日本東京電子高度壟斷，隨著公司產品的不斷成熟，市場份額有望實現快速提升。在產能準備方面，公司沈陽飛云路產能持續飽滿；沈陽彩云路一期已于2022年上半年投入使用，目前產能飽滿，上海臨港廠區已于2023年1月完成主體建設封頂并爭取盡快投入使用，整體來看公司產能準備較為充沛。

在清洗技術上，芯源微回復投資者表示，公司已掌握清洗領域多項核心技術，在晶圓正反面顆粒清洗、化學藥品精確供給及回收、內部微環境精確控制等技術方面已達到國際先進水平。近年來公司生產的前道物理清洗機、后道濕法類設備已成為國內主流產品，公司后續也將推出化學清洗機產品，進一步豐富產品線。

截至25日收盤，芯源微報收293.90元，漲幅1.35%。