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陜西光電子先導院先進光子器件工程創新平臺全面啟用

澎湃新聞記者 張靜
2023-03-30 17:08
來源:澎湃新聞
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·成熟芯片代工廠難以承接小量創新產品產出,實驗室無法工程化創新成果,比如生產所需的MOCVD(金屬有機化學氣相沉積)外延爐設備一臺就要耗資上千萬元人民幣,一條光電子芯片產線造價數以億元計,這對于幾乎沒有營收的初創企業來說是天文數字。

·陜西光電子先導院先進光子器件工程創新平臺將解決第三代化合物半導體芯片制造的外延生長與制程等關鍵問題,具備光子芯片制程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項核心工藝,將為光子產業項目提供產品研發、中試、檢測等技術服務。

MOCVD設備。

3月30日,陜西光電子先導院先進光子器件工程創新平臺在西安全面啟用,該平臺具備光子芯片制程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項核心工藝,將為光子產業項目提供產品研發、中試、檢測等技術服務,為光子產業各類創新主體打通從產品研發到市場化批量供貨的完整鏈條。

先進光子器件工程創新平臺占地30畝,建有中試車間、中試大樓、綜合樓和動力站等研發和中試配套設施。一期專業設備100余臺(套),具備以GaAs(砷化鎵)、GaN(氮化鎵)為主線,圍繞6英寸化合物芯片工藝服務能力的柔性中試平臺,以技術服務與工程代工相結合的形式,為光子產業孵化項目提供產品研發、中試、檢測等技術服務。

同時,先進光子器件工程創新平臺將解決第三代化合物半導體芯片制造的外延生長與制程等關鍵問題,為光電芯片、功率器件、射頻器件等芯片設計企業、高校、科研院所提供外延生長、光刻、刻蝕、薄膜制備、清洗、減薄、拋光、劃片等芯片制造服務。

技術人員正在清理MOCVD設備腔體。

成熟芯片代工廠難以承接小量創新產品產出,實驗室無法工程化創新成果,比如生產所需的MOCVD(金屬有機化學氣相沉積)外延爐設備一臺就要耗資上千萬元人民幣,一條光電子芯片產線造價數以億元計,這對于幾乎沒有營收的初創企業來說是天文數字。

2015年10月,陜西省科技廳、西安高新技術開發區與中國科學院西安光機所聯合發起成立了陜西光電子先導院。陜西光電子先導院通過稀缺平臺資源和專業技術服務,實現工程化銜接。

目前,陜西光電子先導院已培育和聚集了近百家光子產業企業。未來將立足光子制造、光子材料與芯片、光子傳感三大重點領域,引領光電行業發展。

涂膠顯影設備。

中國科學院西安分院院長趙衛表示:“希望陜西光電子先導院先進光子器件創新平臺啟用后,能夠吸引更多光子產業創新要素匯聚陜西,攻關一批引領未來的關鍵核心技術,培育一批具有先發優勢和全球競爭力的光子產業冠軍企業,推動光子產業進一步向集群化、規?;l展?!?/p>

 

    責任編輯:宦艷紅
    校對:劉威
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