國內(nèi)缺芯潮下，受益于晶圓廠的擴產(chǎn)及國產(chǎn)替代加速，集成電路制造用工藝化學(xué)材料的市場需求量也隨之增加。濕電子化學(xué)品供應(yīng)商上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司（下稱“上海新陽”，300236）近年來大舉布局集成電路關(guān)鍵工藝化學(xué)材料，不斷擴充產(chǎn)能以搶占未來市場。

2月14日晚間，上海新陽公告披露，公司擬與上海化學(xué)工業(yè)區(qū)管理委員會、上海化學(xué)工業(yè)區(qū)發(fā)展有限公司簽訂《投資意向協(xié)議》，變更全資子公司上海芯刻微材料技術(shù)有限責(zé)任公司注冊于上海化學(xué)工業(yè)區(qū)，并啟動位于上海化學(xué)工業(yè)區(qū)的項目（下稱“項目”）建設(shè)。

該項目主要用于開發(fā)集成電路關(guān)鍵工藝材料。經(jīng)初步測算，項目總投資金額約為5.8億元人民幣，占地約104畝。項目資金來源為公司自有及自籌資金，上海新陽稱，帶來一定的資金壓力。

項目預(yù)計年產(chǎn)500噸I線、KrF、ArF干/濕法光刻膠；年產(chǎn)10000噸光刻膠稀釋劑；年產(chǎn)5000噸高選擇比氮化鈦刻蝕液系列產(chǎn)品；年產(chǎn)15000噸干法蝕刻清洗液系列產(chǎn)品。

據(jù)公告披露，項目擬于2023年取得施工許可證，2025年底前竣工，2026年6 月底前投產(chǎn)。

上海新陽的獨立董事對此項目給出的意見為，為了進一步鞏固在國內(nèi)半導(dǎo)體材料行業(yè)的領(lǐng)先地位，實現(xiàn)我國集成電路關(guān)鍵工藝化學(xué)材料的自主可控，公司目前需要擴大產(chǎn)能以滿足未來客戶需求。項目投產(chǎn)將使公司清洗液系列產(chǎn)品、光刻膠系列產(chǎn)品、刻蝕液系列產(chǎn)品的產(chǎn)能獲得極大提高。本項目建設(shè)符合公司長期發(fā)展的戰(zhàn)略需求。

上海新陽創(chuàng)立于1999年7月，2011年6月在深圳證券交易所創(chuàng)業(yè)板上市。公司此前在公告中提到，公司成立前10年，研發(fā)出了面向半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域的第一代電子電鍍與電子清洗技術(shù)，為我國半導(dǎo)體封裝引線腳工藝加工帶來了一場根本性技術(shù)變革與提升；后10年，研發(fā)出了面向芯片制造領(lǐng)域的第二代電子電鍍與電子清洗技術(shù)，為我國芯片制造銅互連工藝填補了國產(chǎn)材料的空白，實現(xiàn)了國產(chǎn)替代和自主供應(yīng)能力，一舉突破了國外企業(yè)在這一領(lǐng)域的壟斷，避免了被國外封鎖與“卡脖子”的可能。迄今為止，公司是國內(nèi)唯一能夠滿足芯片90-14nm銅制程全部技術(shù)節(jié)點對電鍍液要求的本土企業(yè)。

值得關(guān)注的是，2022年上半年，作為公司的第三大核心技術(shù)產(chǎn)品，上海新陽的光刻膠取得重大突破，自主研發(fā)的KrF光刻膠產(chǎn)品通過認證，客戶不斷增加，已在國內(nèi)主流晶圓制造廠商處實現(xiàn)供貨。公司在1月曾對外表示，公司KrF光刻膠已批量化生產(chǎn)銷售，ArF類光刻膠樣品目前在國內(nèi)晶圓制造企業(yè)驗證中，EUV光刻膠尚在開發(fā)階段。

總體而言，上海新陽目前形成了擁有完整自主可控知識產(chǎn)權(quán)的電子電鍍和電子清洗兩大核心技術(shù), 第三大核心技術(shù)電子光刻技術(shù)及第四大核心技術(shù)電子研磨技術(shù)都已基本形成。

隨著產(chǎn)業(yè)工藝升級和下游廠商的積極擴產(chǎn)，半導(dǎo)體材料市場正快速增長。國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）數(shù)據(jù)顯示，2021年全球半導(dǎo)體材料市場收入達到643億美元，超過了此前2020年555億美元的市場規(guī)模，同比增長15.9%。與此同時，受益于產(chǎn)業(yè)鏈轉(zhuǎn)移趨勢，2021年國內(nèi)半導(dǎo)體材料銷售額高達119.3億美元，同比增長22%，增速遠高于其他國家和地區(qū)。

實際上，半導(dǎo)體材料種類繁多，包括硅片、電子特氣、光刻膠、工藝化學(xué)品、研磨液、靶材等。據(jù)SEMI數(shù)據(jù)顯示，硅片為半導(dǎo)體材料領(lǐng)域規(guī)模最大的品類之一，市場份額占比達31.2%，其次為氣體，占比約14.1%，第三為光刻膠配套試劑、光刻膠、工藝化學(xué)品、拋光液和拋光墊類化學(xué)材料，占比分別為7.3%、5.0%、6.5%和8.4%。

而上海新陽目前產(chǎn)品主要涉及半導(dǎo)體芯片制程工藝所需的電鍍液及添加劑、清洗液、光刻膠及研磨液等關(guān)鍵工藝化學(xué)材料。

公司在2022年半年報中曾披露，在集成電路制造用關(guān)鍵工藝材料產(chǎn)品市場需求旺盛情況下，于2019年啟動集成電路關(guān)鍵工藝材料擴產(chǎn)項目，布局規(guī)劃了清洗液、刻蝕液、電鍍液及添加劑、光刻膠、研磨液等化學(xué)品材料產(chǎn)能，歷經(jīng)2年多的建設(shè)、調(diào)試、試生產(chǎn)等環(huán)節(jié)，公司上海廠區(qū)年產(chǎn)能1.9萬噸擴充目標已建設(shè)完成，并根據(jù)客戶需求情況投入生產(chǎn)。上海新陽稱，此擴產(chǎn)解決了公司迫切的產(chǎn)能瓶頸問題，為公司2022年上半年產(chǎn)品放量增長提供支撐。

上海新陽在2022年12月回復(fù)投資者時提到，上海本部1.9萬噸產(chǎn)能未完全投產(chǎn)。

此外，上海新陽于2019年10月21日與合肥新站高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)管委會簽訂《上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司第二生產(chǎn)基地項目投資合作協(xié)議》，啟動了公司位于合肥新站高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)的第二生產(chǎn)基地項目建設(shè)，項目計 劃分二期建設(shè)，一期投資約3億元人民幣。二期項目則于2022年2月達成協(xié)議，總投資約3.2億元人民幣。

在今年1月底，上海新陽稱，合肥新陽項目兩期并行，目前尚未投產(chǎn)。

2022年前三季度，上海新陽營業(yè)收入為8.77億元，和上年同期相比（同比）增加23.22%；歸屬于上市公司股東的凈利潤為1394.76萬元，同比減少81.20%；歸屬于上市公司股東的扣除非經(jīng)常性損益的凈利潤為9363.82萬元，同比增加38.52%。