正值畢業季，復旦大學微電子學院教授張衛每天都在花時間審閱、修改學生論文。5月1日當天，他早上7點多就到辦公室，查找文獻、修改論文。他說：“如果學生做得不好，那一定是我的原因。”

在校園值守崗位一月間，張衛的每一天都很平常，從住所到辦公室兩點一線。大部分時間，他坐在辦公桌前，敲著電腦鍵盤，一坐就是幾個小時。作為微電子學院院長，他也擔起疫情防控的一方責任。

日前，張衛榮獲全國五一勞動獎章。得知榮獲獎章時，張衛正在辦公室修改學生論文。他說：“榮譽只代表過去，我得繼續努力工作，每天都有很多事情要做。”

搭建第一套原子層沉積技術的實驗研究平臺

1995年6月，張衛博士畢業后到復旦大學做博士后，合作導師是電子工程系的王季陶教授。在這期間，他瞄準本領域的國際學術前沿，開展了先進銅互連技術和低介電常數互連介質等研究，并取得了很好的學術成績。博士后出站后，張衛留校工作。

2002年5月，他結束德國一年半的洪堡學者之行，回到復旦。在校方支持下，他在國內率先開展了原子層沉積（ALD）高k柵介質的研究。2003年，他搭建了國內第一臺原子層沉積實驗設備。隨后，他組織舉辦了第一屆中國原子層沉積技術學術會議，迅速擴大了復旦大學在集成電路前沿領域的國際影響力。

如今，中國原子層沉積學術會議（CALD）已舉辦9屆。張衛團隊在原子層沉積領域的研究也取得了豐碩成果，發表相關學術論文120多篇。

“做科研就是要鍥而不舍”

28年，張衛從一個初出茅廬的科研人員，成長為國內集成電路領域的領軍人物。這一切的背后，離不開“死磕”。在他看來，“做科研，是我的工作，也是我長久的堅守。”

微電子學院青年教師孫清清，2004年還是一名大四學生，當時他在張衛課題組做畢業設計。每次跟來自美國的工程師一起安裝設備時，他發現旁邊總有一個人，那就是張衛。

“幾天接觸下來，我感覺張老師是一個非常嚴謹的人，能從他身上學到東西。”本科畢業后孫清清跟著張衛攻讀研究生。如今，孫清清也已成長為一名學科帶頭人。

集成電路領域的研究需要產學研深度合作。孫清清回憶，“張老師經常帶著我們跟企業去談，有時候每周都要飛過去。”

“是張老師的堅持打動了對方，最終合作得以成功。”孫清清說，如果中間不堅持，事情肯定就“泡湯”了。

幾十年如一日，張衛在科研路上孜孜不倦。近年來，他牽頭承擔了8項國家和上海市重大、重點科研項目，在本領域國內外學術期刊及會議上發表論文300多篇，申請發明專利180多項。

離開科研、教學，張衛的生活很簡單，平常他最喜歡的活動就是跟家人一起打乒乓球或羽毛球。長期以來，他保持良好作息習慣，每天晚上11點之前睡覺，早上6點鐘起床，以充沛的精力投入到新的一天。

要做有價值的人生導師

一位復旦大學微電子專業20年前畢業的學生，現在已是企業高管，依然對張老師激情講授的《半導體材料》課程印象深刻。

在張衛看來，作為一名老師，首要任務是教書育人，為行業培養高質量的人才。

“大學教育對一個學生未來職業規劃和選擇非常重要。作為老師，我想不僅僅是做科研，更是作為人生導師。不僅傳授知識，更要活用我過去幾十年的人生閱歷，引導他們成長。”

多年來，他培養了一大批集成電路領域的優秀人才，其中5人獲得國家高層次人才等稱號，40多人擔任我國集成電路頭部企業高管和核心技術人員，成長為我國集成電路領域的領軍人物。

這兩年，張衛還為高中生先修課堂上課，講授“改變世界的芯片技術”。他說，芯片是現代工業的糧食，是我們國家高科技強國建設的重要一環，希望通過先修課堂，讓中學生對研究有了解，激發他們對科研世界的思考。

受疫情影響，這段時間微電子學院實驗室暫時“停擺”。作為導師，為了緩解學生的科研焦慮，張衛做了一些調整，讓科研不間斷，包括布置閱讀新的文獻、總結前期實驗經驗、討論進一步完善實驗計劃……做實做足前期功課，等待條件允許時快速投入、推進實驗。